一、概述正规股票杠杆平台
HORIBA VG 系列是堀场（HORIBA STEC）的电容隔膜式真空计（绝压传感器），用于半导体 / 真空制程的高精度绝对压力测量，全金属构造、耐腐蚀、无气体依赖性，是刻蚀、CVD、ALD 等制程的标准压力测量元件。
二、核心定位
类型：电容式薄膜真空计（绝压测量）
核心型号：VG-200（标准型）、VG-200S（温控型）、VG-500S（高温高速型）
场景：半导体刻蚀、CVD、ALD、MOCVD，FPD、光伏、镀膜、热处理等真空制程
核心价值：全金属超洁净 + 高精度稳定 + 耐腐蚀 + 高速响应，适配高纯 / 腐蚀性 / 易冷凝气体
三、主要型号与差异
1. VG-200（基础型，老款）
结构：非温控，SUS316L 隔膜
量程：10/100/1000 Torr（绝压）
特点：经济型，适用于常规、无冷凝风险制程
2. VG-200S（标准温控型，主力）
温控：** 非加热 / 55℃/100℃** 三档可选，防结露
材质：SUS316L 流道 + 隔膜，耐受 Cl₂、HCl、NH₃等腐蚀气
精度：±0.25% R.S.，长期稳定
响应：标准速度，适配中低速制程
3. VG-500S（高温高速型，高端）
温控：**100–200℃** 定制高温，抑制高沸点前驱体冷凝
响应：比传统机型快约 4 倍，适配快速 ALD / 刻蚀制程
材质：强化耐腐蚀合金，适配 MOCVD 等严苛环境
四、关键特点（全系列通用）
高精度 + 无气体依赖性
原理：隔膜形变→电容变化→压力换算，与气体种类无关
精度：±0.25% R.S.，零点 / 量程温度系数极低
绝压测量：直接测绝对压力，不受环境压力波动影响
全金属超洁净 + 耐腐蚀
接触材质：SUS316L（VG-200S）/Ni 合金（VG-500S），无橡胶 / 塑料
泄漏率：符合 SEMI，适配高纯 / 腐蚀性气体
低残留：内壁电解抛光，减少吸附与死体积
温控防凝露 + 长期稳定
VG-200S：55℃/100℃加热，防止 NH₃、HCl 等结露
VG-500S：最高 200℃，适配高温前驱体（如 MOCVD）
一键归零：ONE PUSH ReZero，现场校准便捷
紧凑易集成 + 合规
尺寸：紧凑型（自加热型最小级），节省机柜空间
信号：0–10 VDC模拟量，兼容主流半导体控制系统
供电：±15 VDC 或 24 VDC，标准半导体电源
认证：CE、RoHS 合规，符合 SEMI 标准
五、技术规格（摘要）
型号：VG-200（非温控）、VG-200S（55/100℃）、VG-500S（100–200℃）
压力量程：10 Torr、100 Torr、1000 Torr（绝压）
精度：±0.25% R.S.
响应时间：VG-500S 比传统快约 4 倍
工作温度：VG-200S（5–50℃）；VG-500S（最高 200℃）
接口：KF16、1/2 英寸 VCR（可选）
重量：约 0.8 kg
六、典型应用
半导体：刻蚀、CVD、ALD、MOCVD，精准监控腔室压力，保障制程重复性
光伏 / LED：PECVD、扩散，稳定真空压力，提升膜厚均匀性
真空系统：镀膜、热处理，耐腐蚀材质适配多种工艺气体
闭环控制：与 **UR-Z700（压力控制器）、PV 系列（压电阀）** 组成高精度压力控制系统
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